Model Đèn UV

Được trang bị đèn UV làm nguồn sáng để xử lý, mô hình chi phí thấp này lý tưởng cho nghiên cứu và phát triển (R&D) và sản xuất số lượng nhỏ wafer lên đến 200 mm (8").

Với nguồn sáng được sắp xếp để tạo ra mật độ cao, hệ thống cung cấp khả năng xử lý đồng đều.

Hệ thống xử lý UV đèn UV này có các chức năng tương tự như mô hình đèn Hg áp suất cao, bao gồm bộ hẹn giờ chiếu xạ, chức năng thổi khí N2 để bảo vệ hiệu suất xử lý khỏi ảnh hưởng của oxy, và các thiết bị an toàn.

Hỗ trợ wafer lên đến to 200 mm (8")
Model: UVB-608
Kích thước: 455(W)×520(D)×245(H)